白沙黎族自治縣產(chǎn)品名稱:PECVD石墨舟
所屬分類:白沙黎族自治縣光伏及半導(dǎo)體用途
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- 發(fā)布日期:2023/05/31
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- 在線詢價(jià)
- 詳細(xì)介紹
應(yīng)用場景:單晶硅片沉積鍍膜
優(yōu)點(diǎn)
1.采用當(dāng)下最有優(yōu)勢的高精密加工設(shè)備,配備專業(yè)工藝人員,保障使用中硅片表面不產(chǎn)生“彩片”。
2.采用提純等靜壓石墨材料制作,雜質(zhì)含量低,強(qiáng)度高。
3.陶瓷組裝件采用99.9陶瓷,防腐蝕性能強(qiáng),不易爆裂。
4.執(zhí)行嚴(yán)格的全工序品質(zhì)控制,保證每個(gè)配件的精度。
5.能完全匹配主流設(shè)備廠商的沉積爐型。
國產(chǎn)提純石墨參數(shù) | |||
密度 | 1.82g/cm3 | 灰分 | 50ppm |
抗折強(qiáng)度 | 51Mpa | 抗壓強(qiáng)度 | 115Mpa |
顆粒度 | 0.01mm | 電阻率 | 12μΩ.m |
肖氏硬度 | 65HSD | 熱膨脹系數(shù)(室溫-600℃) | 5.8x10-6/℃ |
彈性模量 | 12Gpa | 氣孔率 | 12% |
進(jìn)口提純石墨參數(shù) | |||
密度 | 1.82g/cm3 | 灰分 | 50ppm |
抗折強(qiáng)度 | 58Mpa | 電阻率 | 14μΩ.m |
顆粒度 | 0.01mm | 氣孔率 | 8% |
肖氏硬度 | 65HSD |